• Home
  • Over ons
  • Uw publicatie
  • Catalogus
  • Recensies
  • Help
  • Account
  • Contact / Impressum
Dissertatie - Publicatiereeks - Congresbundel - Vakboek - Collegedictaat/Studieboek - CD-Rom/DVD - Online Publicatie
Winkelmandje
Catalogus : Details

David Metz

3D microprobe with isotropic serial kinematics for coordinate metrology

voorkantachterkant
 
ISBN:978-3-8440-7771-1
Reeks:Schriftenreihe Mikrotechnik
Uitgever: Prof. Dr. rer.nat. Andreas Dietzel
Braunschweig
Trefwoorden:microprobe; silicon; piezoresistivity; micro-fabrication; isotropy; serial kinematics; coordinate metrology
Soort publicatie:Dissertatie
Taal:Engels
Pagina's:222 pagina's
Gewicht:330 g
Formaat:21 x 14,8 cm
Bindung:Softcover
Prijs:49,80 € / 62,30 SFr
Verschijningsdatum:December 2020
Kopen:
  » plus verzendkosten
Download:

Beschikbare online documenten voor deze titel:

U heeft Adobe Reader, nodig, om deze bestanden te kunnen bekijken. Hier vindt u ondersteuning en informatie, bij het downloaden van PDF-bestanden.

Let u er a.u.b. op dat de online-bestanden niet drukbaar zijn.

 
 DocumentDocument 
 Soort bestandPDF 
 Kosten37,35 EUR 
 ActiesTonen en kopen van het bestand - 13,6 MB (14275579 Byte) 
 ActiesKopen en downloaden van het bestand - 13,6 MB (14275579 Byte) 
     
 
 DocumentInhoudsopgave 
 Soort bestandPDF 
 Kostengratis 
 ActiesHet bestand tonen - 649 kB (664214 Byte) 
 Actiesdownloaden van het bestand - 649 kB (664214 Byte) 
     

Gebruikersinstellingen voor geregistreerde online-bezoekers

Hier kunt u uw adresgegevens aanpassen en uw documenten inzien.

Gebruiker:  niet aangemeld
Acties:  aanmelden/registreren
 Paswoord vergeten?
Aanbevelen:Wilt u dit boek aanbevelen?
Recensie-exemplaarBestelling van een recensie-exemplaar.
VerlinkingWilt u een link hebben van uw publicatie met onze online catalogus? Klik hier.
SamenvattingTactile coordinate metrology has become a key technology to inspect 3D geometries in ranges from sub-micrometers up to meter sizes with high accuracy. With this purpose, workpiece surfaces are probed point by point in a coordinate measuring machine (CMM) using a probing system or probe. Micro-measurements are performed in special micro-CMMs with microprobes to allow the use of smaller probing elements, resulting in critical interactions with the workpiece. However, such devices are still only accessible to a few users.
Based on earlier investigations on membrane-based microprobes, a novel 3D microprobe design was developed to allow micro-measurements in conventional CMMs. Composed of three micro-fabricated measuring cells forming an isotropic serial kinematics, this microprobe offers a compact solution with an outer dimension of Ø 11 mm. The parallelogram structure made of thin silicon hinges of the measuring cell allows large deflections of up to 600 µm in all three directions and low probing forces < 30 mN for 100 µm deflections. These miniaturized load cells use piezoresistive sensors diffused into the silicon hinges to measure the deflection with sub-micrometer accuracy and resolution.
In this work, the novel and patented 3D microprobe design, its micro-fabrication, and a complete mechanical analysis are presented and discussed. Extensive characterization experiments confirmed the predictions of the theoretical analysis and provide design rules for also reaching future targeted properties of this novel class of microprobes. Finally, the successful integration and evaluation of the microprobe based on measurements of a gear standard in a CMM are reported, thereby opening up new possibilities for micro-probing in conventional CMMs.