Maiko Girschikofsky

Herstellung und Anwendung planarer Bragg-Gitter-Sensoren


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ISBN:

978-3-8440-7561-8

Reeks:

Optische Hochfrequenztechnik und Photonik
Uitgever: Prof. Dr.-Ing. Bernhard Schmauß
Erlangen-Nürnberg

Trefwoorden:

Integrierte Optik; Bragg-Gitter; Hybridpolymere; Optische Sensorik; Chemische Sensorik

Soort publicatie:

Dissertatie

Taal:

Duits

Pagina's:

202 pagina's

Gewicht:

300 g

Formaat:

21 x 14,8 cm

Bindung:

Softcover

Prijs:

48,80 € / 61,10 SFr

Verschijningsdatum:

September 2020

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Samenvatting

Im Rahmen der Arbeit werden die Herstellung und Anwendung planarer Bragg-Gitter-Sensoren behandelt. Die planar-optischen Sensoren werden in anorganisch-organischen Ormocer-Hybridpolymeren mittels gängiger Methoden der Mikrosystemtechnik hergestellt und umfänglich hinsichtlich ihrer Struktur und des Einflusses der individuellen Herstellungsparameter charakterisiert. Durch Verfahren moderner Nanoprägelithografie und Fotolithografie werden Rippenwellenleiter und eingebettete Streifenwellenleiter in planaren sowie elastischen Dünnfilm-Substraten hergestellt. In diese bereits UV-polymerisierten Strukturen werden uniforme volumenstrukturierte Bragg-Gitter mittels Phasenmaskentechnologie und Excimerlaser-Bestrahlung integriert. Die erzeugten Wellenleiter-Bragg-Gitter werden in sensorischen Anwendungen zum Nachweis der Temperatur und Verformung sowie der Brechungsindexanalytik eingesetzt. Darüber hinaus werden Siliziumdioxid-basierte, planare Bragg-Gitter durch Funktionalisierung mit Cyclodextrin-Affinitätsmaterialien in der opto-chemischen Sensorik des höchst ozonschädigenden Treibhausgases Trichlorfluormethan eingesetzt.