Christian StrengerHerstellung und Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldeffekttransistoren auf 4H-Siliciumcarbid | |
| ISBN: | 978-3-8440-3495-0 |
| Reeks: | Erlanger Berichte Mikroelektronik Uitgever: Prof. Dr.-Ing. H. Ryssel en Prof. Dr. rer. nat. L. Frey Erlangen |
| Volume: | 2015,2 |
| Trefwoorden: | Transistor; SiC; EELS; MOSFET |
| Soort publicatie: | Dissertatie |
| Taal: | Duits |
| Pagina's: | 194 pagina's |
| Gewicht: | 287 g |
| Formaat: | 21 x 14,8 cm |
| Bindung: | Softcover |
| Prijs: | 48,80 € / 61,00 SFr |
| Verschijningsdatum: | Maart 2015 |
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| Samenvatting | Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Herstellung und der Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldefekttransistoren auf der Siliciumseite von 4H-Siliciumcarbid (4H-SiC). |